Van hút chân không cao cấp SMC XLD-50-M9BC

Mô tả

Van hút chân không (High Vacuum Valve) SMC XLD-50-M9BC

Mô tả sản phẩm:

XLD-50-M9BC là dòng van bướm hút chân không cường độ cao (High Vacuum Slit Valve) của hãng SMC, được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng đòi hỏi độ sạch tuyệt đối và áp suất chân không siêu cao. Dòng van này thường xuất hiện trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn, màn hình LCD/OLED hoặc các hệ thống buồng chân không thí nghiệm.

Về thông số kỹ thuật, ký hiệu 50 đại diện cho kích thước mặt bích tiêu chuẩn KF50 (hoặc DN50), cho phép lưu lượng khí đi qua lớn. Cơ cấu truyền động là dạng khí nén (Pneumatic) với khả năng đóng ngắt cực kỳ kín khít. Mã M9BC chỉ định loại cảm biến hành trình (Auto Switch) đi kèm, cụ thể là cảm biến điện tử 2 dây, giúp phản hồi trạng thái đóng/mở của van về bộ điều khiển trung tâm.

Về cấu tạo, thân van được đúc từ thép không gỉ (Stainless Steel) cao cấp, bề mặt trong được đánh bóng đạt độ nhám cực thấp để giảm thiểu sự bám dính của các phân tử khí. Điểm đặc biệt của dòng XLD là sử dụng bellows (ống xếp) để ngăn cách hoàn toàn phần cơ cấu truyền động với môi trường chân không bên trong, đảm bảo không có rò rỉ hay nhiễm bẩn dầu mỡ.

Ưu điểm nổi bật của XLD-50-M9BC là tuổi thọ cực cao (lên đến hàng triệu lần đóng ngắt) và khả năng duy trì độ chân không ổn định ngay cả trong điều kiện nhiệt độ thay đổi. Thiết bị này là thành phần cốt lõi trong các hệ thống bơm khuếch tán, bơm phân tử và các buồng xử lý hóa lý trong môi trường chân không sâu.